半片刻蚀自动化上下料机
产品说明:

刻蚀自动化是一款将未工艺硅片从花篮中传出、分道、传入链式工艺机中并在工艺后传入花篮的设备。

设备特性:

1. 同步带轮无挡边设计,减少磨粉,首尾均配置接粉盒

2. 标配前后推齐,排除因错齿导致的发片不良及压碎

3. 下料可单轨剔除带液、缺角、连片等不良

4. 下料具有半片补片功能,减少后续槽式机下料人工补片工作

5. 上下料结构设计合理,硅片无皮带印及划伤

产品参数:
参数 参数值
产能 32000半片/小时
碎片率 ≤0.02%
EL不良 0%
正常运行时间 98.5%